武汉佰力博科技有限公司
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技术规格:
温度范围：10k-325k（10K GM制冷机），4.5K-325K（4K GM制冷机）；
高温选件温度范围：50k到500K；控温稳定性：+50mK；
降温时间：~3-4hours；
X大样品尺寸：直径50mm；
频率范围：测量DC到67Ghz；
真空环境：~10-5-10-6mbar；
XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；
顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；
四个直流探针臂，X多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。
标准配置：
低温真空探针台：包含探针台、显微成像装置、三维位移平台、阻尼隔振台、GM制冷机
选购件：气动隔振台、阻尼隔振台、3.2K低温选件、高温选件、带充气增压杜瓦瓶、电动控制杜瓦瓶、泵管道隔震装置、无油压缩机、机械泵、分子泵机组等。
■显微成像装置
便于观察微型样品测量，设有聚焦视觉系统，LCD19监视器、USB Camera位移台的Monoscopes光学观测组件，选择合适的放大倍率和光源，可以清晰查看探针针尖位置，以便准确无误的进行样品测试；
■探针台
将样品放入探针台，通过调节探针杆控制探针夹持样品进行测量，可以通过顶部玻璃观察窗观察样品情况和探针位置；
■三维位移台
X/Y/Z驱动距离分别为50/25/25mm，X是导入杆轴向，Y是导入杆水平径向，Z是导入杆上下方向。三维位移台搭配压缩波纹管，实现真空环境下三维调整，两者中间连接电极安装座，可以适配不通接口的真空feedthroughs；
■气动隔振台
采用低固有频率的空气弹簧作为振动隔离材料，并在支撑架上安装了三个水平自动调节阀，以搭载低温探针台进行隔离振动干扰实验。
CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、X导、电子学、物理学和材料学等X域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。
