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全自动反冲洗过滤器

全自动反冲洗过滤器X纯水制造技术在半导体行业中的应用

产品名称
全自动反冲洗过滤器
价格
8800
在地区
北京 市辖区 
小起订量1
1
供货能力
1/天
发布时间
2017/10/21 6:49:23
信息来源
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全自动过滤器X纯水制造技术在半导体行业中的应用

【全自动反冲洗过滤器】基本说明

半导体行业是一个高能耗的行业。在半导体产 品制造过程中.由于生产设备的精密性和生产工艺 的复杂性.对其配套设施提出了很高的要求,尤其对 作为半导体行业血脉的X纯水系统更是高之又高。 笔者在X纯水制造工艺中打破了传统的固定观念, 将节能降耗的理念充分应用到X纯水制造工艺中 去。半导体行业X纯水制造工艺可以概述为4个部 分,分别为预处理部分、RO部分、电去离子部分和 抛光混床部分。在有些半导体厂中,也有用“阴床+ 阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产 水水质对弱电解质的要求而定,这里主要探讨常用 的电去离子工艺 。
1、预处理部分:
预处理的作用是对原水进行粗加工。提供符合RO进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬 浮物、胶体,使SDI≤4;去除游离氯等氧化性物质; 去除部分有机物;降低LSI,避免碳酸盐结垢。
在X纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介 质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用 了“粗过滤器+X滤装置”作为X纯水系统的预处理 部分.主要原因如下:
(1)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般> 5,不利于后续的一X反渗透系统的运行;而X滤装置的出水SDI值比较稳定(≤1),能够X地保证一 X反渗透系统的运行。
(2)传统的预处理方式占地面积大,而“粗过滤 器+X滤装置”占地面积小,节约了基建费用。
(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大 量的人力和物力相比,X滤装置的更换比较方便。
(4)近年来,由于X滤技术的不断成熟,系统能 够稳定安全地运行,而且X滤膜的价格也有了大幅 度的降低,在一次性投资和运行维护费用上跟传统 的预处理方式相比差不多。
2、反渗透部分
在半导体行业中,反渗透部分多采用双X反渗 透工艺.以确保后续工艺的安全性。通过双X反渗 透,可去除水中X过99%的悬浮物、胶体,98%以上 的溶解盐,大部分的微生物、TOC和部分CO 。 该半导体制造厂也采用双X反渗透工艺,同时 将双X反渗透拆分成两个X立的部分,这样就更加 X地保证了系统的连续运行。即使在更换反渗透 膜或在线清洗反渗透膜时.也不会造成整个工厂大 面积的停水,确保了关键部位的连续用水。 该半导体厂采取在一X反渗透前增加SBS、 MDC加药装置。保证了一X反渗透系统的安全运行:在一X反渗透和二X反渗透之间增加一套加碱 装置,可提高二X反渗透系统的脱盐率。
3、电去离子部分
对反渗透出水进行深度脱盐。X终产水的电阻 率能>15 MQ·cm。目前市场上比较常用的电去离子 深度除盐装置模块有两种类型,分别为EDI模块和 CEDI模块。该半导体制造厂采用CEDI模块,同时将CEDI 模块分成X立的两个部分,在清洗CEDI模块或更 换CEDI模块时可以分组进行,不会造成大面积的 停水,确保了关键部位的连续用水。
4、抛光混床部分:
由于半导体制造行业对X纯水的水质要求很 高,故在纯水箱后输送管道上增加抛光混床,可保证 X纯水系统产水的稳定性和一致性。实际应用中 基本都是采用双X抛光混床。
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