? 配管の接続位置により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。 ? 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 ? 自動(dòng)復(fù)帰型サーマルプロテクター內(nèi)蔵による安全設(shè)計(jì)。

有良好的穩(wěn)定性和較高的效率。

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由于徹底的低噪音設(shè)計(jì)和精密的加工，從而達(dá)到了低噪音化。

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日本愛發(fā)科ULVAC的前身為日本真空技術(shù)株式會(huì)社，成立于1952年，在全球擁有近2000名員工，長(zhǎng)期以來，作為追求真空極限的真空技術(shù)先驅(qū),是真空行業(yè)中擁有最全產(chǎn)品線的綜合制造商。