? 配管の接続位置により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。 ? 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 ? 自動復帰型サーマルプロテクター內(nèi)蔵による安全設計。

有良好的穩(wěn)定性和較高的效率。

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日本愛發(fā)科ULVAC的前身為日本真空技術株式會社，成立于1952年，在全球擁有近2000名員工，長期以來，作為追求真空極限的真空技術先驅,是真空行業(yè)中擁有最全產(chǎn)品線的綜合制造商。